本文从测量原理出发讨论了机械真空泵测试中常用的几种流量计，特别是喷嘴流量计，并研究了减少测量误差的措施。 围绕滴管流量计量范围向小流量方向拓展进行了深入研究，提出了真空滴管流量计的思路，改进了结构设置和操作程序，并提出了真空滴管流量计的特点。总结了真空滴管流量计的特点。

测量机械真空泵流量的仪表种类很多，有涡轮流量计、涡街流量计、转子流量计、质量流量计、孔板流量计、喷嘴流量计和滴管流量计等，真空行业常用的有以下几种。

转子流量计存在精度低、读数不稳定等缺点，不适合作为测量仪器使用。 但由于其价格低廉、使用方便、读数直观、可远程传输等特点，常用于生产过程中的流量显示。

质量流量计具有精度高、响应速度快、稳定可靠、操作方便等优点，因而得到了**的应用。 但对于真空设备行业来说，存在导电率不足的问题。 例如，目前**的质量流量计**量程为2000SLM，但连接直径只有10毫米，因此适合测量压力气体的流量； 当用于测量真空泵时，其范围仅为其额定值的一小部分。 经实践验证，确实如此，所以只能用于真空行业测量小流量。

孔板流量计已**应用于水泵行业。 由于其体积较大，安装和使用都比较麻烦，很少使用。 主要用于低真空和中大流量场合，如活塞真空泵、水环真空泵的测量。 真空行业应用****的是滴管流量计和喷嘴流量计。 这是两种类型的**流量计。 只要小心操作，就可以达到很高的精度。

1.喷嘴流量计

喷嘴流量计是根据流体动力学中的拉瓦尔喷嘴原理设计的**流量计。 当喷嘴出口压力与入口压力之比等于0.528时，喷嘴内气流速度达到超音速，气体流量达到**值。 随着喷嘴出口压力继续降低，上述压力比将开始小于0.528并继续降低，而气体流量保持不变。

上述流量的计算还需要进行换算和修正，如大气压换算、气体常数换算、喷嘴效率修正和压力比修正等。 需要特别提及的是压力比的修正。 当喷嘴出口压力与入口压力之比大于0.528时，喷嘴内气流速度开始低于声速，并且随着压力比继续增大，喷嘴内气流速度进一步减小。 该状态下的流量计算不再遵循式（1），必须进行压力比修正。 具体计算参见GB/T13930《水环真空泵和水环压缩机气体体积测量方法》。

喷嘴流量计测试装置如图1所示。

这种喷嘴流量计试验装置与GB/T13930规定的不同之处在于，各喷嘴内的超音速气流进入试验罩后，由于集束效应，气流不易混合均匀，压力稳定性差。 按GB/T13930规定装置测量的抽速偏差较大； 因此，我们将试验罩加长至L/D=3~4，同时将试验罩的取压位置移至锥形管下方的连接管上。 测试证明，这一改进效果显着，抽速过高的现象再也没有发生过。

实际应用中，喷嘴流量计应避免在3kPa压力以下使用，因为此时试验罩内真空度较高，采用小喷嘴。 从喷嘴进入的超音速气流的团聚效应较严重，气流的均匀性和稳定性较差； 另外，小直径喷嘴的边界层也有较大的影响，在抽速测试中会产生较大的偏差。 测试罩内的真空度越高，这种偏差就越大。

2.滴管流量计

滴管流量计因其量程范围广、结构简单、操作方便、精度高、**流量计而得到**应用。 滴管式流量计一直是国内外真空标准要求测量真空泵抽速的流量计。 通过精确测量不同高度滴管的体积，可以精确测量真空泵的流量。 至今仍是国内外相关真空标准。 通过了。

然而，目前使用的滴管流量计有这样一个突出的缺点：由于毛细管现象的存在，小直径玻璃管内的液面存在不同程度的压降。 因此，滴管的直径不能太小，即无法测量小直径。 流量或小流量测量数据不准确。

真空滴管式流量计具有以下特点：

(1)滴管流量计安装在密封油箱上，通过辅助真空泵的抽气和真空（放气）阀达到并保持动态稳定的真空。 整个流量测量系统处于真空状态，扩大了流量测量范围，特别是对于小流量。 并可调节真空度以设定不同的流量范围。

(2)整个流量测量系统可以在真空和大气条件下工作，扩大了流量测量范围。

(3)当整个流量测量系统处于真空状态时，流量测量系统的真空度必须低于103Pa，才能保证流量测量正常工作。

(4)预设滴管内液位上升高度，通过超声波液位变送器发出液位信号； 液位上升到一定高度所需的时间由计时器记录，并通过液位传输。 它由仪器发出的液位信号进行控制，从而避免了人工计时和人眼观察高度带来的误差，进一步提高了测试精度。

(5)真空滴管式流量计特别适合在真空状态下测量小流量。 可以使用较大直径的滴管测量小流量，避免了小直径滴管毛细管作用造成的低流量测试值，使测试更加准确。

（6）真空滴管式流量计整个系统处于真空状态，工作液（油）不会受到灰尘和水蒸气的污染，保证了测量精度。

真空滴管式流量计是**的研究成果，可能存在一些考虑不周的地方。 希望大家批评指正。